河南省超高纯硅材料工程研究中心于2016 年获批复建设成立，围绕硅材料重点和难点问题，研究实验开发超高纯材料制备关键工艺技术（ 含系统的节能技术、环保技术）和核心装备技术，开展相关硅产业结构优化升级的新理论、新技术、新工艺、新装备研发，培养产业工程设计技术创新人才，促进重大科技成果应用，建立硅产业各领域系统的技术标准、规范，为超高纯产业发展提供有力支撑。本中心依托中硅高科的电子功能材料研发平台组建，通过对综合研究开发楼进行环境优化提升，建设了4个试验平台和1个综合测试分析中心，包括：硅基电子气体试验平台、光纤四氯化硅试验平台、硅烷试验平台、超高纯多晶硅试验平台和综合测试分析中心。以打造国内硅基材料产业关键技术供给、促进硅产业实现跨越式发展为目标，以硅材料工程设计自主创新、提升硅产业持续发展能力为重要源头，累计投入建设资金6562.85万元，配备试验线所需高纯设备、管线、充装、储存、检测设备300余台套。