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河南省多晶硅工程技术研究中心

  河南省多晶硅工程技术研究中心(以下简称“多晶硅工程中心”),于2007年6月由河南省科技厅批准建设(豫科计[2007]10号),自2007年12月建成投入使用。

  经过持续的的建设和发展,多晶硅工程中心建成了氯硅烷分离提纯平台、四氯化硅氢化平台、多晶硅还原平台、多晶硅高纯后处理平台、还原尾气干法回收平台、硅基电子气体试验平台、光纤四氯化硅试验平台和测试分析中心。其中测试分析中心已通过cma认证和cnas认可,可以对外提供56项权威硅材料相关检测服务。现有多晶硅实验用大型设备和高纯物料专用检测仪器近二百台套,拥有技术人员和管理人员135人,其中中高级研究人员80人。

  多晶硅工程中心以“打造一个以多晶硅为主体的高纯半导体材料及新能源材料生产工艺和装备技术、检测分析技术的研发平台;同时打造为中硅高科技术创新的源泉、国内多晶硅技术人才的摇篮“为宗旨。一直以多晶硅材料产业对低单耗、高品质、清洁生产的制备技术迫切需求为出发点,以关键技术的自主创新、兼顾吸收创新、集成创新为指导思想,开展多晶硅核心技术、关键工艺技术以及关键装备的研究,开展可能引导多晶硅产业结构优化升级的战略性、前瞻性的新理论、新技术、新工艺、新装备的研发,培养产业工程技术创新人才以及促进重大的科技成果应用;为我国多晶硅材料大规模、低单耗、高品质、清洁生产制备技术提供核心技术支撑,为国内的多晶硅产业提供技术服务。

  自成立以来,先后完成国家863计划课题、国家科技支撑计划课题以及省市科研项目等近百项,申请专利100多项,多项成果获得国家科技进步奖、省市和行业学会的科技奖励,拥有多项具有自主知识产权的多晶硅生产工艺及装备系统技术,打破了美、日、德等国的技术封锁和市场垄断,推进了国家优先重点发展的多晶硅高技术产业化进程,促进电子信息产业、太阳能光伏发电产业的发展,在上级领导单位和依托单位的大力支持下,本中心已成为国内领先的多晶硅制备工程技术研发平台,国内多晶硅技术人才的培养摇篮,企业技术创新的源泉。

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